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厚膜陶瓷基板
厚膜陶瓷基板采用的是传统的网印技术生产,现在台湾生产厚膜陶瓷基板主要制造商为禾伸堂、九豪等公司。一般情况而言,使用网印的方式去制作线路的过程中,通常因为网版张网问题,容易产生线路粗糙、对位不精准的现象。因此,对于未来尺寸要求越来越小的制冷片,厚膜陶瓷基板的精确度已逐渐不复使用。
低温共烧多层陶瓷
低温共烧多层陶瓷技术,以陶瓷作为基板材料,将线路利用网印方式印刷于基板上,再整合多层的陶瓷基板,*后透过低温烧结而成,而其台湾主要制造商有璟德电子、鋐鑫等公司。而低温共烧多层陶瓷基板之金属线路层亦是利用网印制程制成,同样有可能因张网问题造成对位误差,此外,多层陶瓷叠压烧结后,还会考量其收缩比例的问题。
薄膜陶瓷基板
为了改善厚膜制程张网问题,以及多层叠压烧结后收缩比例问题,近来发展出薄膜陶瓷基板作为散热基板。薄膜散热基板乃运用溅镀、电/电化学沉积、以及黄光微影制程制作而成。而目前主要以斯利通公司,具备了专业薄膜陶瓷基板生产能力。
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